تاثیر عوامل رشد روی مورفولوژی و ویژگی های سطحی لایه نازک اکسید روی

لایه های نازک اکسید روی (ZnO) که به روش کندوپاش مگنترون روی بستره شیشه ای در شرایط متنوع انباشت گردیده از نظر ویژگی های سطحی مورد بررسی قرار گرفته اند. تاثیر ضخامت لایه، آهنگ انباشت ،دمای زیرلایه و دمای بازپخت و مدت زمان حرارت دهی روی مورفولوژ سطح مطالعه گردیده است. راستای رشد ترجیحی ، متوسط دانه بندی و تغییرات آن از طریق آنالیز پرتو ایکس (XRD) نمونه ها بررسی شده و برای مشاهده سطح لایه های نازک و آگلومره شدن سطح با عوامل انباشت به ویژه دما از میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) بهره گرفته شد تا نتایج حاصل با آنالیز پراش پرتو ایکس لایه نازک ZnO مورد مقایسه قرار گیرند.

Keywords:

اکسیدروی , آهنگ انباشت , دمای بازپخت , دمای زیرلایه , لایه های نازک