ساخت و مشخصه یابی دی سولفید مولیبدن با استفاده از سولفوریزاسیون فیلم نازکی از مولیبدن

در این پژوهش ابتدا با استفاده از سیستم لایه نشانی کندوپاش جریان مستقیم لایه ای از مولیبدن بر روی زیر لایه ی si/sio2 لایه نشانی شد و سپس با استفاده از رسوب بخار شیمیایی گرمایی و در حضور پودر گوگرد عمل سولفوریزاسیون لایه ی ایجاد شده در چهار زمان مختلف انجام شد که در طی این فرایند لایه ی دی سولفید مولیبدن تولید و با استفاده از الگوی پراش اشعه ی ایکس و طیف سنجی فرابنفش مریی مشخصه یابی گردید

Keywords:

دی سولفید مولیبدن , سولفوریزاسیون , کندوپاش جریان مستقیم , رسوب بخار شیمیایی گرمایی