سنسورهای فشار MEMS پیزوسیلیکونی
Publish place: 3rd International Conference on Electrical Engineering
Publish Year: 1397
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,646
This Paper With 20 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICELE03_192
تاریخ نمایه سازی: 18 اسفند 1397
Abstract:
از آنجایی که نیاز به اندازه گیری، برای زندگی روزمره نقش بسیارحیاتی دارد و کاهش اندازه فیزیکی سنسورها و تغییر در رنجاندازه گیری آنها از ماکرو به میکرو نیازمند طراحی و ساخت سنسورهای جدید و یا تغییر ابعاد سنسورهای فعلی از ماکرو به میکرومیباشد. اخیرا، سنسورفشار (MEMS) به دلیل حساسیت بالا، مصرف برق کم، عدم تاثیرپذیری ازدما، سازگاری مدارمجتمع وغیره مزیت بیشتری را نسبت به سنسور فشار پیزورزیستیو میکروماشینی پیدا کرده است. در بیشتر سنسورهای فشار خازنی ازسیلیکون یا غشایدیافراگم پلی سیلیکونی استفاده می شود. در سیلیکون مونوکریستالین از فرآیند میکروماشینی کردن حجم اصلی استفاده می گردد.دراین مقاله ما ابتدا سنسور فشار با دیافراگم سیلیکونی و اتصال همجوشی سیلیکونی رامعرفی کرده و درادامه به جبرانسازی پسماندسنسور فشار پیزورزیستیوری سیلیکونی پرداخته و آزمایش های ضروری و شرایط کافی برای سنسور فشار سیلیکونی را توضیح می دهیم و درآخر قابلیت اندازه گیری ویژگی های اتوماتیک سنسور فشار MEMS پیزورسیستور سیلیکون راشرح خواهیم داد.
Keywords:
Authors
اسماعیل میرزایی سوسفیدی
دانشجوی کارشناسی مهندسی برق الکترونیک، دانشگاه ولایت ایرانشهر، ایران
مهدی رمضانی فرد
عضوهیات علمی گروه مهندسی برق دانشگاه ولایت ایرانشهر، ایران