مروری بر مقایسه بین روش اکسیداسیون پلاسمای الکترولیتی آندی و روش پلاسمای الکترولیتی کاتدی
Publish Year: 1398
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 694
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCNTA07_048
تاریخ نمایه سازی: 28 مهر 1398
Abstract:
هدف اصلی در این مقاله علمی ترویجی، مرور کلی بر مقایسه بین دو زیر شاخه ی مهم فرآیند پلاسمای الکترولیتی؛روش پلاسمای اکسیداسیون آندی و پلاسمای الکترولیتی کاتدی، چگونگی عملکرد و بررسی ویژگی هر یک و میزان نفوذ آنها به علم لایه های نازک، علم مطالعه بر روی لایه های سطحی نازک به ضخامت یک دهم نانومتر و چندین میکرومتر روی مواد مختلف به ویژه فلزها، اعم از طبیعی(اکسیدها و یا ترکیبات مشتق از ماده ی زیرلایه) و مصنوعی یا انباشت شده، می باشد. طی توسعه و پیشرفت زیرشاخه های این علم در گذر چندین دهه ی اخیر اعم از روش های الکتروشیمیایی، روش های الکترونی، یونی، باریکه ی لیزری و پلاسما و همچنین پلاسمای الکترولیتی به منظور رسوب گذاری و ته نشست لایه های نازک، علم فیزیک لایه های نازک به مسائل خوردگی و حفاظت ماده طی فناوری خلاء می پردازد.
Keywords:
فیزیک لایه های نازک , پلاسمای الکترولیتی , پلاسمای اکسیداسیون آندی , پلاسمای الکترولیتی کاتدی , اکسید , خوردگی , الکتروشیمیایی , الکترونی , یونی , باریکه ی لیزری
Authors
نازنین محسنی نیا
کارشناسی ارشد فیزیک لایه های نازک، پژوهشکده نیمه هادی ها، پژوهشگاه مواد و انرژی، کرج-مشکین دشت