لیتو گًرافی با آرایه میکروعدسی

Publish Year: 1389
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,015

متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

ICOPTICP17_101

تاریخ نمایه سازی: 19 آبان 1389

Abstract:

لیتوگرافی میکروعدسی یک روش لیتوگرافی است که هیچ محدودیتی روی ابعاد ماسک و مساحت ویفر ایجاد نمی کند جزئیات محاسبات ابیراهی ها و طراحی یک سیستم عدسی برای لیتوگرافی میکروعدسی دراین مقاله بحث شده است سیستم دارای سه ارایه میکروعدسی است ما این سیستم را با روشهای هندسی و مبتنی بر پراش شبیه سازی و بهینه سازی کرده ایم توان جداسازی سیستم با استفاده از سطوح اسفریک افزایش یافته است.

Authors

ایت اله کریم زاده

دانشگاه امیرکبیر پژوهشکده اپتیک و لیزر

حمیدرضا فلاح

دانشگاه اصفهان دانشکده فیزیک

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
  • R. Volkel et. al , Microelectroic Engineering 30 (1996) 107- ...
  • R. Volkel et.al, M icroelectronic Engineering 35 (19967)5 13-516 ...
  • M.Born, and E.Wolf, " Prnciples of ...
  • (Exp anded)Edition, Cambridge University Press (1999). ...
  • Harry J.Levinson, " Principles of Lithography", SPIE PRESS (2001). ...
  • نمایش کامل مراجع