مدو لاسیون مکان پالس (PMM)روش جدید ساخت قطعات میکرو اپتیکی مقیاس خاکستری
Publish place: 03rd Iranian Conference on Photonics Engineering
Publish Year: 1389
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,175
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
PHOTONICS03_050
تاریخ نمایه سازی: 30 آبان 1389
Abstract:
برای ساخت قطعات میکرواپتیک مقیاس خاکستری سه روش وجود دارد دراین مقاله روش جدید مدولاسیون مکان پالس ارائه شده است برخلاف روشهای مرسوم دراینجا شدت نور فرودی به روی فوتورزیست با استفاده از برهمنهی دو یا چند توری پراشی دامنه ای کنترل می شود طراحی ماسک پلیت های کرومی مقیاس خاکستری با این روش تست اپتیکی الگوهای بزرگتر از الگوهای اصلی قبل از انتقال نهایی به روی ماسک با استفاده از یک چیدمان اپتیکی و درنهایت ساخت قطعه مورد نظر دراینجا گوه است روی فوتورزیست با استفاده از تکنیک فوتولیتوگرافی شرح داده شده است.
Keywords:
Authors
آرش ثباتیان
دانشگاه ارومیه ،دانشکده علوم پایه ،گروه فیزیک
علیرضا همت
دانشگاه ارومیه ،دانشکده علوم پایه ،گروه فیزیک
یورگن یانس
دانشگاه فرن هاگن،آلمان
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :