بهینه سازی دیافراگم فشارسنج های خازنی MEMS

سیستم میکروالکترومکانیکی (MEMS) در این عصر از صنعت بیشترین نیاز را در بخش های مختلف اعم از صنعت، پزشکی، خودروسازی، هوافضا، صنایع و ابزارهایی که در زندگی روزمره از آنها استفاده می کنیم مانند تلفنهای همراه پیدا کرده است. از اینرو میتوان گفت پیشرفت در علم و سازه های سنسور فشار MEMS در واقع پیشرفت در بخشهای مهم صنعتی، پزشکی و ... است . در این پایاننامه با بررسی سنسور های فشار خازنی MEMS و طراحی و آنالیز آنها توسط نرم افزار COMSOL تلاشی برای بهینه سازی این نوع سنسورها انجام شده است. با افزایش چند میکرومتری دیافراگم و تغییر جنس زیر لایه و ابعاد سنسور به افزایش ظرفیت و تحمل فشار تا چند صد مگاپاسگال پرداخته شده است.

Keywords:

سنسور , سیستم , فشار , خازنی , میکروالکترومکانیک