بهینه سازی ساختارمیکروفن خازنی جدید با دیافراگم قورباغه ای جهت افزایش حساسیت و کاهش ولتاژ تغذیه

Publish Year: 1398
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: Persian
View: 218

This Paper With 11 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

JR_JME-17-59_010

تاریخ نمایه سازی: 21 اسفند 1399

Abstract:

در این مقاله هندسه و ابعاد یک میکروفن خازنی جدید قورباغه‌ای شکل با استفاده از الگوریتم تجمع ذرات (PSO) برای کاهش ولتاژ تغدیه و افزایش حساسیت بهینه‌سازی شده است. الگوریتم تجمع ذرات روش بهینه سازی تصادفی مبتنی بر جمعیت است که از رفتار اجتماعی پرندگان الهام گرفته‌است که برای حل فضاهای طراحی پیچیده و چندجانبه مورد استفاده قرار می‌گیرد. روش پیشنهادی در این مقاله می‌تواند با بسیاری از طراحی‌های قطعات ماشینکاری میکرونی دیگر سازگار باشد.این رویکرد نشان دهنده بهبودهایی نسبت به طرح‌های قبلی است که از شیوه طراحی معمول (روش‌های تقریبی مبتنی بر سعی و خطا) ساخته می‌شدند. باتوجه به‌این‌که عملکرد میکروفن از جهات مختلف مورد مطالعه قرارمی‌گیرد و پارامترهای طراحی مختلف در مصالحه با یکدیگرند، تعریف تابع هدفی چندمنظوره بسیار مهم است. در این کار، ما تابع هدف را به‌گونه‌ای تعریف کرده‌ایم که هر سه فاکتور فرکانس تشدید، ولتاژ کشش و حساسیت مکانیکی به‌طور همزمان در نظرگرفته شوند. نتایج نشان می‌دهد که میکروفن طراحی شده از عملکرد مطلوبی برخوردار است. درواقع تنها با انتخاب ابعاد بهینه برای طول و عرض بازوها، حساسیت مکانیکی ساختار حدود 4 برابر و حساسیت مدارباز به 2 برابرنسبت به طرحهای پیشین افزایش یافته است و مقدار ولتاژ کشش نیزتقریبا به نصف کاهش یافته است.

Authors

بهرام عزیزالله گنجی

دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل

صدیقه بابایی صداقت

دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر، دانشگاه صنعتی نوشیروانی بابل،۴۸۴، بابل، ایران.

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
  • [1] W. Kronast, B. Muller, W. Siedel, A. Stoffel, "Single-chip ...
  • [2] S. Horowitz, T. Nishida, L. Cattafesta, M. Sheplak, "Development ...
  • [3] W.S. Lee, S.S. Lee, "Piezoelectric microphone built on circular ...
  • [4] G. Li, Y. Zohar, and M. Wong, "Piezoresistive microphone ...
  • [5] J. Bay, O. Hansen, S. Bouwstra, "Micromachined double backplate ...
  • [6] Z.Z. Shu, M.L. Ke, G.W. Chen, R.H. Horng, et ...
  • [7] M.D. Williams, "Development of A MEMS Piezoelectric Microphone for ...
  • [8] G. Li, Y. Zohar, and M. Wong, "Piezoresistive microphone ...
  • [9] J. Bergqvist, J. Gobet, "Capacitive microphone with a surface ...
  • [10] A. Torkkeli, O. Rusanen, J. Saarilahti, H. Seppa, H. ...
  • [11] A.E. Kabir, R. Bashir, J. Bernstein, J.D. Santis, R. ...
  • [12] T. Tajima, T. Nishiguchi, S. Chiba, A. Morita, M. ...
  • [13] W. Kronast, B. Muller, W. Siedel, and A. Stoffel, ...
  • 150 بهینه سازی ساختارمیکروفن خازنی جدید با دیافراگم قورباغه ای ...
  • مجله مدل سازی در مهندسی سال هفدهم، شماره 59 ، ...
  • [14] N. Kimori, Y. Kumai, Sh. Hishinuma, T. Ikehara, "Ten-micrometer-thick ...
  • [15] J. Bay, O. Hansen, and S. Bouwstra, "Design of ...
  • [16] D.T. Martin, J. Liu, K. Kadirvel, R.M. Fox, M. ...
  • [17] P. R. Scheeper, B. Nordstrand, J. O. Gullov, B. ...
  • [18] B.A. Ganji, B.Y. Majlis, "Design and fabrication of a ...
  • [19] C.H. Huang, C.H. Lee, T.M. Hsieh, L.Ch. Tsao, Sh. ...
  • [20] B.A. Ganji, S. Babaei Sedaghat, A. Roncaglia, L. Belsito, ...
  • [21] N. Mohamad, P. Iovenitti, T. Vinay, "High sensitivity capacitive ...
  • [22] B.A. Ganji, B.Y. Majlis, "Slotted capacitive microphone with sputtered ...
  • [23] S.B. Sedaghat, B.A. Ganji, and R. Ansari, "Design and ...
  • ]24 [ سید مرتضی جوادپور، سعید فراهت و حسام الدین ...
  • پذیر با کمک الگوریتم ژنتیک"، مجله مدل سازی در مهندسی ...
  • ]25 [ صابر ارمغانی، نیما امجدی، "توزیع بار اقتصادی با ...
  • بهینه سازی فاخته"، مجله مدل سازی در مهندسی دانشگاه سمنان، ...
  • ]26 [ روح الله مقصودی، یعقوب حیدری، بهزاد مشیری، " ...
  • بهینه سازی گروهی ذرات در طراحی یک کنترلکننده PID فازی ...
  • مهندسی دانشگاه سمنان، دوره 11 ، شماره 35 ، زمستان ...
  • ]27 [ حسین شریف زاده، نیما امجدی، " توزیع بهینه ...
  • مهندسی دانشگاه سمنان، دوره 7، شماره 18 ، پاییز 1388 ...
  • [28] J. Miao, R. Lin, L. Chen, Q. Zou, S.Y. ...
  • [29] P.R. Scheeper, A.G.H. Vanderdonk, W. Olthuis, P. Bergveld, "Fabrication ...
  • [30] P.R. Scheeper, W. Olthuls and P. Bergveld, "Improvement of ...
  • [31] A. Arora, A. Arora, V.K. Dwivedi, et al., "Zinc ...
  • [32] P.C. Hsu, C.H. Mastrangelo, K.D. Wise, "A high density ...
  • بابایی صداقت و عزیزالله گنجی 151 ...
  • مجله مدل سازی در مهندسی سال هفدهم، شماره 59 ، ...
  • [33] B.A. Ganjia, S. Babaei Sedaghat, Alberto Roncaglia, etc, “Design, ...
  • [34] B.A. Ganjia, S. Babaei Sedaghat, A. Roncaglia, et al., ...
  • نمایش کامل مراجع