مقالۀ پژوهشی: محاسبۀ ضرایب اپتیکی و ضخامت لایۀنازک دیاکسید تیتانیم با استفاده از روش بیضیسنجی تکفام
Publish place: Iranian Journal of Applied Physics، Vol: 10، Issue: 2
Publish Year: 1399
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: Persian
View: 217
This Paper With 11 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_JAPAZ-10-2_001
تاریخ نمایه سازی: 21 فروردین 1400
Abstract:
ضرایب اپتیکی و ضخامت لایههای نازک در بسیاری از شاخههای علوم و فناوری پارامترهای اساسی محسوب میشوند. بیضیسنجی روش شناختهشده و قدرتمندی برای محاسبۀ پارامترهای اساسی لایههای نازک، به واسطۀ داشتن قابلیتهای غیرتخریبی و دقت آن است. در این مقاله، یک بیضیسنج تکفام که در مقایسه با دیگر بیضیسنجهای مرسوم نسبتاً ساده و ارزان است، طراحی کردهایم. منبع نور بهکاررفته در این طراحی یک لیزر هلیومـنئون با طول موج 633 نانومتر است. برای اندازهگیری پارامترهای بیضیسنجی (𝜓, Δ) از روش بیضیسنجی تحلیلگر چرخان در زوایای فرود مختلف استفاده شده است. کارایی و دقت این روش از طریق محاسبۀ ضرایب اپتیکی و ضخامت لایۀنازک دیاکسید تیتانیم (TiO2)، با پارامترهای اپتیکی معلوم، آزموده شد. به منظور افزایش دقت اندازهگیریها، پارامترهای بیضیسنجی (ψ و Δ) از نواحی مختلف سطح لایه استخراج شد. ضریب شکست زیرلایه مقدار 48/1 و ضریب شکست لایه و ضریب خاموشی لایه و ضخامت لایۀنازک به ترتیب، مقادیر 58/2 و 04/0 و 60/49 نانومتر به دست آمد. این نتایج، که از برازش منحنی دادههای حاصل از بیضیسنجی و نیز اعمال روش وارونهسازی استخراج شدهاند، صحت و کارایی چیدمان طراحیشده را نشان میدهد.
Keywords:
Authors
داود رئوفی
دانشیار، گروه فیزیک، دانشکده علوم، دانشگاه بوعلی سینا، همدان، ایران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :