لایه نشانی و ارزیابی خواص سایشی و پایداری شیمیایی لایه نازک کربن شبه الماسی اعمال شده بر بستره های مسی

در این تحقیق فیلم نازک کربن شبه الماسی (DLC) بر روی زیرلایه های مسی لایه نشانی شد. برای لایه نشانی ازروش رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسمای حاصل از جریان مستقیم (DLC-PACVD) و مخلوطی ازگازهای اولیه پروپان ((۸)H۳C)، آرگون (Ar) استفاده شد. اندازه گیری ضخامت فیلم های لایه نشانی شده وبررسی مورفولوژی سطح با میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) انجام شد. پارامترهای پایداری شیمیاییهمچون دانسیته جریان خوردگی با استفاده از آزمون های پلاریزاسیون و امپدانس الکتروشیمیایی تعیین گردید.سختی فیلم، لایه بافر و زیرلایه نیز توسط روش نانوسختی سنجی اندازه گیری شد. ساختار فیلم با استفاده از طیفسنجی رامان (Raman) بررسی گردید. برای بررسی چسبندگی پوشش از روش تست فرورونده راکول C طبقاستاندارد VDI۳۱۹۸ استفاده شد. بررسی ها نشان داد که با حضور فیلم کربن شبه الماسی میزان مقاومت بهخوردگی به طور چشم گیری افزایش یافت. لایه نشانی فیلم TiN به عنوان لایه بافر سبب چسبندگی فیلم کربنشبه الماسی به زیرلایه مس گردید.

Keywords:

کربن شبه الماسی , خوردگی , سختی , PECVD