لایه نشانی و ارزیابی خواص سایشی و پایداری شیمیایی لایه نازک کربن شبه الماسی اعمال شده بر بستره های مسی
Publish place: 21st National Conference on Surface Engineering
Publish Year: 1399
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 535
This Paper With 9 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
ISSE21_005
Index date: 12 May 2021
لایه نشانی و ارزیابی خواص سایشی و پایداری شیمیایی لایه نازک کربن شبه الماسی اعمال شده بر بستره های مسی abstract
در این تحقیق فیلم نازک کربن شبه الماسی (DLC) بر روی زیرلایه های مسی لایه نشانی شد. برای لایه نشانی ازروش رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسمای حاصل از جریان مستقیم (DLC-PACVD) و مخلوطی ازگازهای اولیه پروپان ((۸)H۳C)، آرگون (Ar) استفاده شد. اندازه گیری ضخامت فیلم های لایه نشانی شده وبررسی مورفولوژی سطح با میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) انجام شد. پارامترهای پایداری شیمیاییهمچون دانسیته جریان خوردگی با استفاده از آزمون های پلاریزاسیون و امپدانس الکتروشیمیایی تعیین گردید.سختی فیلم، لایه بافر و زیرلایه نیز توسط روش نانوسختی سنجی اندازه گیری شد. ساختار فیلم با استفاده از طیفسنجی رامان (Raman) بررسی گردید. برای بررسی چسبندگی پوشش از روش تست فرورونده راکول C طبقاستاندارد VDI۳۱۹۸ استفاده شد. بررسی ها نشان داد که با حضور فیلم کربن شبه الماسی میزان مقاومت بهخوردگی به طور چشم گیری افزایش یافت. لایه نشانی فیلم TiN به عنوان لایه بافر سبب چسبندگی فیلم کربنشبه الماسی به زیرلایه مس گردید.
لایه نشانی و ارزیابی خواص سایشی و پایداری شیمیایی لایه نازک کربن شبه الماسی اعمال شده بر بستره های مسی Keywords:
لایه نشانی و ارزیابی خواص سایشی و پایداری شیمیایی لایه نازک کربن شبه الماسی اعمال شده بر بستره های مسی authors
محمد جبلی مقدم
اصفهان، شاهین شهر، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، دانشکده مهندسی مواد (کارشناس ارشد مهندسی مواد)
اکبر اسحاقی
اصفهان، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، دانشکده مهندسی مواد (دانشیار)
مظاهر رمضانی
اصفهان، دانشگاه صنعتی مالک اشتر، دانشکده مهندسی مواد (استادیار)
غلامرضا رحیمی
اصفهان، صنایع الکترواپتیک ایران