بررسی تاثیر ضخامت و فشار در دیافراگم های میکرو الکترو مکانیکی در میزان جابجائی در کاربردهای پزشکی

Publish Year: 1396
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: Persian
View: 228

This Paper With 8 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

JR_JIPET-8-29_003

تاریخ نمایه سازی: 4 دی 1400

Abstract:

در این مقاله، تاثیر پارامترهای طراحی در دیافراگم بر روی حساسیت میکروفن به منظور استفاده در کاربردهای پزشکی قابل کاشت ارائه گردیده است. پارامترهای متفاوتی از دیافراگم همچون شکل، ابعاد، ضخامت و فشارهای اعمالی مختلف بر روی دیافراگم در نظر گرفته شده است. تاثیر تغییرات در این پارامترها بر روی میزان جابجائی و استرس در انواع شکل دیافراگم ها مورد بحث و بررسی واقع شده است. به منظور طراحی بهینه، انواع شکل دیافراگم های پیشنهادی، از جهت پارامترهای در نظر گرفته شده در نرم افزار COMSOL شبیه سازی و آنالیز شده اند. با توجه به پارامترهای مورد بررسی، انواع اشکال دیافراگم مربعی، مستطیلی و بیضوی شکل با توجه به شرایط در نظر گرفته شده، دارای میانگین جابجائی مرکزی در محدوده فرکانس شنوائی انسان ۲۰Hz-۲۰KHz به ترتیب nm۲. ۶ ، nm ۵. ۵ و nm ۱۳۰می باشد. نتایج حاصل از شبیه سازی ها بدین صورت می باشد که دیافراگم بیضوی شکل نسبت به اشکال دیگر مورد بررسی در این مقاله، برای کاربردهای پزشکی و امکان کاشته شدن، دارای کارائی بهینه و مطلوبی می باشد. به علاوه، ماده ی پیزوالکتریک مورد استفاده در طراحی دیافراگم PZT است.

Authors

نازلی زرگرپورفردین

مربی، واحد ایلخچی، دانشگاه آزاد اسلامی، باشگاه پژوهشگران جوان و نخبگان، ایلخچی، ایران.

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
  • R.J. Littrell, “High performance piezoelectric MEMS microphones”, Ph.D. dissertation, The ...
  • D.R. Dixon, “Mems microphones break design mould”, April ۲۰۰۶ ...
  • J. Bouchaud, “Mems microphones make noise”, Jan. ۲۰۱۲ ...
  • I.J. Cho, S. Jang, H.J. Nam, “A piezoelectrically actuated mems ...
  • M.C. Cheng, W.S. Huang, S.R.S. Huang, “A silicon microspeaker for ...
  • H. Kim, A. Astle, K. Najafi, L. Bernal, P. Washabaugh, ...
  • H. J. Kim, K. Koo, S.Q. Lee, K.H. Park, J. ...
  • G. Lemarquand, R. Ravaud, I. Shahosseini, V. Lemarquand, J. Moulin, ...
  • Y.J. Chang, Y.W. Chung, T.A. Chou, M.F. Huang, “Valve-less diaphragm ...
  • S.S. Je, F. Rivas, R.E. Diaz, J. Kwon, J. Kim, ...
  • S. Kim, X. Zhang, R. Daugherty, E. Lee, G. Kunnen, ...
  • P. Rangsten, L. Smith, L. Rosengren, B. Hok. “Electrostatically excited ...
  • P. Scheeper, A.D. Van der, W. Olthuis, P. Bergveld, “A ...
  • W.S. Lee, S.S. Lee, “Piezoelectric microphone built on circular diaphragm”, ...
  • H. Bruhns, A. Marianovich, M. Wolff, “Photoacoustic spectroscopy using a ...
  • C. Han, E. Kim, “Fabrication of dome-shaped diaphragm with circular ...
  • S.H. Yi, E.S. Kim, “Piezoelectric Micro-speaker with Compressive Nitride Diaphragm”, ...
  • M. Niu, E.S. Kim, “Piezoelectric bimorph microphone built onmicromachinedparylene diaphragm”, ...
  • S.C. Ko, Y.C. Kim, S.S. Lee, S.H. Choi, S.R. Kim, ...
  • J.W. Judy, “Microelectromechanical systems (MEMS): fabrication, design and applications”, Smart ...
  • D.T. Blackstock, “Fundamentals of physical acoustics”, California: John Wiley & ...
  • N. Zargarpour, M.H. Zarifi, “A piezoelectric micro-electromechanical microphone for implantable ...
  • S.N. Laboratories, A. Sandia, “MEMS advanced design short course notes”, ...
  • J.J. Sneigowski, M.S. Rodgers, “Multi-layer enhancement to polysilicon surface micromachining ...
  • S. Timoshenko, S.W. Krieger, “Theory of plates and shells”, McGraw-Hill, ...
  • N. Zargarpour, M. Zarifi, “Proposing a new design for micro­electromechanical ...
  • P. DahaleKetaki, M. RasalSuyog, “An aid hearing for stone deaf ...
  • T.Y. Cheng, “The sensitivity analysis of a MEMS microphone with ...
  • نمایش کامل مراجع