بررسی پایداری و مکانیزم تخریب پوشش های ژرمانیوم-کربن در محیط مه نمکی
Publish Year: 1399
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: Persian
View: 302
This Paper With 12 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_IJSSE-16-43_004
تاریخ نمایه سازی: 8 دی 1400
Abstract:
در پژوهش حاضر، پوشش های ژرمانیوم-کربن (Ge۱-x-Cx) به وسیله فرایند رسوب دهی شیمیایی بخار به کمک پلاسما (PECVD) با استفاده از پیش ماده های گازی GeH۴ و CH۴ روی زیرلایه های سیلیسیومی و شیشه ای رسوب داده شدند. به منظور بررسی پایداری محیطی پوشش ها، از آزمون مه نمکی استفاده شد. به منظور مشخصه یابی ریزساختاری و پیوندی پوشش ها به ترتیب از میکروسکپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM) مجهز به طیف سنج تفکیک انرژی (EDS) و طیف سنج فوتوالکترون پرتو ایکس (XPS) استفاده شد. بررسی کیفیت فیزیکی نمونه ها پس از گذشت ۲۴ ساعت قرارگیری در معرض مه نمکی، پایداری بسیار مناسب تمام پوشش های ژرمانیوم-کربن رسوب داده شده در شرایط مختلف را نشان داد؛ به گونه ای که هیچ اثری از کنده شدن، پوسته شدن، ترک برداشتن و تاول زدن روی نمونه ها مشاهده نشد. ارزیابی های میکروسکپی الکترونی روبشی از سطح رویی پوشش ها نیز این موضوع را اثبات کرد. تنها برای پوشش Ge۱-x-Cx غنی از کربن، بخش هایی از لبه های پوشش تخریب شد. سازوکار تخریب پوشش به صورت تاول زدن و توسعه ترک به واسطه نفوذ مولکول های آب به فصل مشترک آزاد پوشش/ زیرلایه تشخیص داده شد.
Keywords:
Authors
حسین جمالی
دانشگاه صنعتی مالک اشتر
رضا مظفری نیا
دانشگاه صنعتی مالک اشتر
اکبر اسحاقی
دانشگاه مالک اشتر
فاطمه سوسنی
دانشگاه صنعتی مالک اشتر
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :