تولید و مشخصه یابی پوشش محافظ ژرمانیوم-کربن
Publish Year: 1394
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: Persian
View: 197
This Paper With 9 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_IJSSE-11-26_001
تاریخ نمایه سازی: 8 دی 1400
Abstract:
هدف از پژوهش حاضر، تولید پوشش محافظ ژرمانیوم-کربن به وسیله فرآیند رسوب دهی شیمیایی از بخار به کمک پلاسما (PECVD) با استفاده از پیش ماده های گازی ژرمان (GeH۴) و متان (CH۴) و سپس مشخصه یابی آن است. برای این منظور، از میکروسکپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM) مجهز به طیف سنج تفکیک انرژی (EDS)، پراش سنج پرتو ایکس (XRD)، طیف سنج مادون قرمز تبدیل فوریه (FTIR)، طیف سنج فتوالکترون پرتو ایکس (XPS)، طیف سنج فروشکست القائیده لیزری (LIBS)، آزمون نانوفرورونده و آزمون چسبندگی استفاده شد. بر اساس ارزیابی ساختاری، پیوند خوردن برخی از اتم های ژرمانیوم با اتم های کربن و وجود زمینه ژرمانیوم-کربن در پوشش اثبات شد. همچنین نتایج، نشان دهنده تشکیل پوشش ژرمانیوم-کربن آمورف به صورت یک لایه متراکم، همگن و عاری از هرگونه تخلخل و ناپیوستگی با چسبندگی بسیار مناسب به زیرلایه بود. مقدار سختی و مدول الاستیک پوشش ژرمانیوم-کربن به ترتیب حدود ۱/۷ و GPa ۱/۹۵ به دست آمد.
Keywords:
Authors
حسین جمالی
دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه صنعتی مالک اشتر
رضا مظفری نیا
دانشکده مهندسی مواد، دانشگاه صنعتی مالک اشتر
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :