بررسی تاثیر شرایط کندوپاش مغناطیسی ( توان و فشار ) بر روی ریزساختار و خواص مکانیکی لایه نازک Fe-Ni-Mn

آلیاژهای Fe-Ni-Mn با مقادیر مناسب از عناصر، دارای برخی خواص ویژه مانند میرایی بالا، حافظه شکل و فوق الاستیک بودن می باشد. در این تحقیق به بررسی تاثیر شرایط کندوپاش مغناطیسی ( توان و فشار ) بر روی ریزساختار و خواص مکانیکی لایه نازک Fe-Ni-Mn پرداخته شده است. بدین منظور لایه های نازک Fe-Ni-Mn با توان های ۵۰ و ۱۰۰ وات و در دو فشار مختلف گاز آرگون ( mbar ۳ - ۱۰ × ۲ و mbar ۳ - ۱۰ × ) ۴ توسط سیستم کندوپاش مغناطیسی لایه نشانی شدند. ریزساختار لایه ها با استفاده از آنالیز پراش اشعه ایکس (XRD) و میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) و خواص مکانیکی آن ها به وسیله آزمایش کشش مورد بررسی قرار گرفت. نتایج حاکی از آن است که کاهش فشار گازکندوپاش باعث تشکیل ساختار آمورف می شود. همچنین نتایج آزمایش کشش نشان می دهد، نمونه کندوپاش شده با توان ۰۵۵ وات در فشار گاز آرگون mbar ۳ - ۰۵ × ۲ به دلیل ساختار آمورف دارای بیشترین استحکام و داکتیلیته می باشد. با افزایش فشار گاز کندوپاش، ساختار بلوری و سایز بلورها کاهش می یابد و به دلیل جدایش منگنز در مرزدانه ها استحکام کششی لایه های نازک کاهش می یابد.

Keywords:

لایه های نازک Fe-Ni-Mn , آمورف , کریستالی , ریزساختار , خواص مکانیکی