بررسی رفتار خوردگی آلیاژکروم کبالت لایه نشانی شده با کربن شبه الماسی آلائیده شده با فلوئور

در این تحقیق لایه نازک کربن شبه الماسی آلائیده شده با فلوئور روی زیر لایه ای از آلیاژ کروم کبالت لایه نشانی شد. برای لایه نشانی از روش رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسما ( PECVD) ومخلوطی از گازهای متان، آرگون و CF۴ استفاده گردیده است. از لایه میانی TiN جهت بهبود و چسبندگی F-DLC روی زیر لایه کروم کبالت استفاده شد. پارامترهای پایداری شیمیایی همچون دانسیته جریان خوردگی با استفاده از آزمون های پلاریزاسیون و امپدانس الکتروشیمیایی تعیین شده است. نتایج نشان داد که با حضور فیلم کربن شبه الماسی آلائیده شده با فلوئور، میزان مقاومت به خوردگی به طورقابل قبولی افزایش یافت، به طوریکه پتانسیل خوردگی از ۰/۳۹۶- ولت به ۰/۰۵۷ و جریان خوردگی از ۱۰-۶*۵/۵۵ به ۱۰-۷*۱/۲۸۸ میکرو آمپر کاهش پیدا کرد.

Keywords:

خوردگی , کربن شبه الماسی , RFPECVD , آلیاژ کرم کبالت