بررسی اثر دما و زمان بازپخت برروی خواص مورفولوژیک فیلم نازک تانتالوم تهیه شده به روش کندوپاش مغناطیسی جریان مستقیم
Publish Year: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,093
This Paper With 10 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCNN01_059
تاریخ نمایه سازی: 17 اردیبهشت 1391
Abstract:
دراین پژوهش ابتدا سه نمونه فیلم نازک تانتالوم به روش کندوپاش مغناطیسی جریان مستقیم استوانه ای برروی زیرلایه سیلیکون با زمان کندوپاش 1/5 دقیقه تحت شرایط کاملا یکسان درحضور گازآرگون تهیه گردید در مرحله بعد دو نمونه از فیلم ها به مدت 45 دقیقه تحت بازپخت دردو دمای متفاوت 750 دره و 900 درجه و یک نمونه به مدت 60 دقیقه تحت بازپخت دردمای 750 درجه قرارگرفت از آنالیز های پراش اشعه ایکس XRD میکروسکوپ نیروی اتمی AFM و آنالیز میکروسکوپ الکترونی رویشی SEM نیز به ترتیب برای تشخیص جهت ترجیحی دانه ها بررسی مورفولوژی سطح و اندازه گیری سایز دانه ها استفاده شد نتایج آنالیز XRD بیانگر شکل گیری فاز β دردمای 750 درجه و درزمان 45 دقیقه می باشد با افزایش دمای باز پخت به 900درجه تغییر فاز از β به a بدون هیچ انحرافی مشاهده شد اما با افزایش زمان بازپخت نتیجه بیان شده با انحرافی معادل 0/2 درجه مشاهده گردید. بهدلیل تغییر فاز از β به a زبری سطح نمونه ها با افزایش دما و زمان بازپخت کاهش یافت که این نتیجه توسط آنالیز میکروسکوپ نیروی اتمی AFM بدست آمد.
Keywords:
Authors
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :