لیتوگرافی اتمی با بهره گیری از تکنولوژی نانو
Publish Year: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,342
This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCNN01_075
تاریخ نمایه سازی: 17 اردیبهشت 1391
Abstract:
اساسی ترین قدم در ساخت و توسعه ادوات نیمه هادی فرایندلیتوگرافی است رشد تکنولوژی درهمه تجهیزات الکترونیکی نظیر مدارات مجتمع ادوات اپتوالکترونیک صفحه نمایشهای مسطح و همه بسته های الکترونیکی همگی بستگی به تکنولوژی لیتوگرافی دارد اهمیت فرایندلیتوگرافی درساخت مدارات مجتمع تا حدی است که درحدود یک سوم هزینه ادوات الکترونیکی را به خود اختصاص داده است لذا رشدو توسعه تکنولوژی لیتوگرافی و سیستمهای وابسته به ان درزمینه پیشرفت صنیاع الکترونیکی از جایگاه ویژه ای برخوردار است مهمترین پارامتر درصنعتلیتوگرافی میزان دقت و قابلیت تفکیک یا قدرت تفکیک میب اشد امروزه هدف محققان آنست که بتوان این میزان را به ابعاد زیر100 نانومتر و حتی در محدوده های چندنانومتر رساند دراین مقاله با استفادها ز فناوری و علم نانو لیتوگرافی اتمی برای رسیدنبه هدف مذکور مورد مطالعه و بررسی قرارگرفته است.
Keywords:
Authors
محمد ندیمی
دانشگاه علم و صنعت ایران دانشکده برق
زهره صداقتی
دانشگاه آزاد اسلامی واحد قزوین
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :