بررسی خواص سطحی لایه های نازک نانومتر مولیبدنیم تهیه شده به روش کندوپاش مغناطیسی جریان مستقیم
Publish Year: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 889
This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCNN01_126
تاریخ نمایه سازی: 17 اردیبهشت 1391
Abstract:
دراین تحقیق لایه های نازک مولیبدنیم با ضخامتهای متفاوت برروی بستری از سیلیکون به روش کندوپاش مغناطیسی جریان مستقیم لایه نشانی شد به منظور بررسی خصوصیات سطحی لایه های نازک سه نمونه با ضخامت های 30، 50 و 100 ننومتر برروی سطح پولیش خورده ی سیلیکون لایه نشانی شدند پس ازآن یک نمونه نیز با ضخامت 100 نانومتر برروی سطح دیگر سیلیکون که زیربود لایه نشانی شد نتایج آنالیز پراش پرتوایکس XRD نشان داد که میزان ناهمواری زیرلایه تاثیر چندانی برروی بلورینگی لایه نازک مولیبدنیمندارد نتایج حاصل از میکروسکوپ نیروی اتمی AFM نیز حاکی از افزایش ناهمواری سطح با افزایش ضخامت بود ولی لایه نازک مولیبدنیم لایه نشانی شده برروی سطح زبر درمقایسه با نمونه ی هم ضخامت خود که برروی سطح پولیش خورده لایه نشانی شده بود ناهمواری سطحی کمتری داشته و درکل کمترین ناهمواری را از خود نشانداد.
Authors
آزاده منتظری
دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج گروه فیزیک
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :