تاثیر زمان بازپخت روی خواص لایه های مس تهیه شده توسط روش کندوپاش مغناطیسی DC
Publish Year: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,146
This Paper With 7 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCNN01_176
تاریخ نمایه سازی: 17 اردیبهشت 1391
Abstract:
دراین تحقیق تاثیر زمان بازپخت روی خواص لایه های مس تهیه شده توسط روش کندوپاش مغناطیسی DC مورد بررسی قرارگرفت لایه های نازک مس برروی زیرلایه های سیلیکان دریک شرایط ثابت توسط کندوپاش مغناطیسی مسطح به کمک جریان مستقیم Dc انباشت شد سپس لایه های مس انباشت شده درزمان های متفاوت تحت اتمسفر هوا بازپخت شد اثر زمان بازپخت را برروی ساختار مورفولوژی و خواص الکتریکی لایه های نازک مس درزمان های متفاوت بازپخت مورد بررسی قراردادیم ساختار لایه های نازک مس با استفاده از پراش اشعه x مورد ارزیابی قرار گرفت طرح پراش اشعه x از لایه های نازک مس پس از بازپخت نشان میدهد فاز CuO) درراستای کریستالی 111 غالب است همچنین مورفولوژی سطح با استفاده از میکروسکوپ نیروی اتمی AFM مورد مطالعه قرارگرفت. بازپخت نمونه ها در زمان های متفاوت رشد لایه به صورت کپه ای شده و زبری سطح افزایش یافته است.
Keywords:
Authors
معصومه نجارصادقی
دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج دانشکده علوم گروه فیزیک
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :