تاثیر پلاسمای نیتروژن برروی لایه های آلومینیوم انباشتی به روش کندوپاش مغناطیسی DC
Publish Year: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,055
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCNN01_211
تاریخ نمایه سازی: 17 اردیبهشت 1391
Abstract:
دراین تحقیق لایه های نازک آلومینیوم AL با استفاده از روش کندوپاش مغناطیسی DC درشرایط ثابت و دردمای اتاق برروی زیرلایه های کوارتز انباشته شده و سپس تحت تاثیر پلاسمای نیتروژن قرارگرفتند نیتروژن دهی پلاسمایی به لایه های آلومینیوم انباشتی فوق برای زمان های متفاوت 10، 20، 30 و 40 دقیقه صورت گرفته و تاثیر زمان نیتروژندهی برروی لایه های آلومینیوم با استفاده از آنالیزهای مختلفی مانند پراش پرتوی (XRD)X میکروسکوپ نیروی اتمی AFM پروب چهارنقطه ای F.p.p و ضخامت سنجی بررسی شدها ست نتایج XRD نشان میدهد که لایه های آلومینیوم درجهت بلوری 200 رشد نموده است و پس از نیتروژن دهی پلاسمایی درمدت 10 دقیقه به جز فاز آلومینیوم فاز دیگری رشد نکرده است ولی با افزایش زمان نیتروژن دهی از 20 دقیقه تا 40 دقیقه فاز نیترات آلومینیوم در جهت بلوری 101 نیز رشد کردها ست و هردوفازآلومینیوم ونیترات آلومینیوم را داریم.
Keywords:
Authors
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :