میکرو آینه با قابلیت شکل پذیری الکترواستاتیک

ما یک آینه تغیر شکل پذیر الکترواستاتیک با ولتاژ پایین و جابجایی بزرگ را برای تصویر برداری شبکیه داخل بدن توسط توموگرافی انسجام نوری تطبیقی – اپتیکی ارائه کرده ایم. این آینه از یک محرک پیستونی الکترواستاتیک استفاده می کند که به الکترود پایینی اجازه می دهد تا بصورت عمودی حرکت کنند تا شکاف کوچک را نگه داشته و نیروی محرک بزرگ را در ولتاژ تحریک پایین حفظ کنند

Keywords:

میکرو آینه , الکترواستاتیک , دستک , الکترود