طراحی میکرو فلو متر گازی جدید با استفاده از تکنولوژی میکرو الکترومکانیک سنسورها
Publish Year: 1391
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,824
This Paper With 9 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
این Paper در بخشهای موضوعی زیر دسته بندی شده است:
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
ICOGPP01_570
تاریخ نمایه سازی: 22 مرداد 1391
Abstract:
در این مقاله یک میکرو تیرک جدید سیلیکنی بسیار حساس به همراه استرین گیج پیزو مقاومتی مجتمع شده uشکل بر روی آن مورد استفاده در فلومتر های گازی را بهینه سازی و یک سیستم بازخوانی پیزو مقاومتی جدید را معرفیمی نماییم. برای اصلاح حساسیت سنسورها ی میکرو تیرکی ،این مقاله مشخصه های خمش ،لرزش و ماکزیمم استرس میکروتیرک های مستطیلی و ذوزنقه ای شکل را آنالیز و مقایسه می نماییم .در نتیجه یک میکرو تیرک جدید ذوزنفه ایشکل با حساسیتی بسیار بیشتر از انواع سنتی آن طراحی شده است.استرس سطحی ، به صورت نیروی کششی درون صفحه ای که به لبه بالایی میکروتیرک وارد شده مدل شده است. نرم افزار ANSYS به عنوان ابزار طراحی و مدلسازی خصوصیات مکانیکی میکروتیرکهای مبتنی بر سیلیکن استفاده شده است. مدلسازی میکروتیرک با معادلات اویلر- برنولی و فرمولهای استونی برای محاسبه مومنتوم استرس سطحی و خمش انجام شده است.برای انتخاب حساس ترین میکروتیرک ،ابعاد با استفاده از الگوریتم ژنتیک بهینه سازی شده است.نتایج شبیه سازی از تطابق بسیار بالایی برخوردار می باشند
Keywords:
میکروتیرک-مقاومت پیزویی- حساسیت-الگوریتم ژنتیک
Authors
پرستو نوذری
دانشجوی دکتری مهندسی برق الکترونیک
مهدی خسروی
کارشناسی ارشد مهندسی برق الکترونیک
ارسطو نوذری
کارشناسی مهندسی برق مخابرات