بررسی اثر ولتاژ بایاس بر مشخصه های ساختاری و مکانیکی لایه نازک کربن شبه الماس اعمال شده توسط فرایند رسوب دهی پرتو یونی
Publish Year: 1401
Type: Journal paper
Language: Persian
View: 214
This Paper With 12 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
JR_IJCSE-11-2_003
Index date: 4 April 2023
بررسی اثر ولتاژ بایاس بر مشخصه های ساختاری و مکانیکی لایه نازک کربن شبه الماس اعمال شده توسط فرایند رسوب دهی پرتو یونی abstract
در این پژوهش اثر ولتاژ بایاس بر تغییرات ساختاری لایه نازک کربن شبه الماس ایجاد شده توسط فرایند رسوبدهی پرتو یونی مورد بررسی قرار گرفته است. برای این منظور، پارامتر ولتاژ بایاس در مقادیر V۰، V۵۰- ، V۱۰۰- و V۱۵۰- روی زیرلایه آلیاژ آلومینیوم AA۵۰۸۳ در نظر گرفته شد. جهت ارزیابی تغییرات ساختاری از طیفسنجی رامان استفاده شد. همچنین جهت تاثیر ولتاژ بایاس بر ضخامت و زبری سطح پوششهای اعمالی، از میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) و میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM) نیز استفاده گردید. سختی و مدول الاستیک توسط آزمون نانوسختیسنجی اندازهگیری شد. نتایج آنالیز رامان نشاندهنده بیشترین میزان پیوندهای sp۳ در لایه نازک کربن شبه الماس در ولتاژ بایاس V۵۰- بود و با افزایش ولتاژ بایاس، مقدار پیوندهای sp۳ کاهش پیدا کرد. نتایج آنالیز AFM گویای کمترین میزان زبری سطح لایه (nm ۱۰) در ولتاژ بایاس V۵۰- بود. با توجه به این که میزان پیوندهای sp۳ در ولتاژ بایاس V۵۰- در حداکثر مقدار خود قرار داشت، سختی در این مقدار ولتاژ بایاس نیز نسبت به ولتاژهای دیگر بالاتر و برابر GPa ۱/۱۴بود.
بررسی اثر ولتاژ بایاس بر مشخصه های ساختاری و مکانیکی لایه نازک کربن شبه الماس اعمال شده توسط فرایند رسوب دهی پرتو یونی Keywords:
Diamond Like Carbon , Biase Voltage , ion beam deposition , AA۵۰۸۳ aluminum alloy. , کربن شبه الماس , ولتاژ بایاس , رسوب دهی پرتو یونی , آلیاژ آلومینیوم AA۵۰۸۳
بررسی اثر ولتاژ بایاس بر مشخصه های ساختاری و مکانیکی لایه نازک کربن شبه الماس اعمال شده توسط فرایند رسوب دهی پرتو یونی authors
مسعود سروری
Malek ashtar university of technology
سید حجت اله حسینی
Malek ashtar university of technology
محمدرضا ابراهیمی فردوئی
Malek ashtar university of technology
سعید مرساق دزفولی
, Malek Ashtar University of Technology
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :