اندازهگیری جابجایی میکروعملگرU شکل الکتروترمال با استفاده از میکروپیسوسنسور
Publish place: 3rd Conference in the Manufacturing Engineering (NMEC2012)
Publish Year: 1390
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,079
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NMEC03_077
تاریخ نمایه سازی: 12 دی 1391
Abstract:
سیستم های میکروالکترومکانیکی یا ممز ترکیبی از اجزای مکانیکی سنسورها عملگرها و قطعات الکترونیکی برروی یک لایه سیلیکون به کمک فناوری ساخت تراشه های میکرونی می باشد ازجمله ادوات ممز میتوان به میکروگریپرها میکروموقعیت دهندها میکروکلمپ ها میکروسنسورها و ... اشاره نمود که میکروگریپرها درجابجایی و موقعیت دهی قطعات با مقیاس کوچک کاربرد بسیاری دارند میکروگریپر برای گیره بندی نیاز به تحریک دارد عملگرهای الکتروترمال با توجه به نحوه عملکرد و سادگیدراستفاده دارای کاربرد زیادی نسبت به عملگرهای الکترواستاتیک پیزوالکتریک آلیاژ حافظه دار و ... دارند عملگرهای برقی ـ حرارتی که با ساتفاده از میکروماشین کاری سطحی ساخته می شوند از خاصیت انبساط طولی برای حرکت سازه استفاده می کنند انبساط طولی ناشی از پدیده گرمایش ژول است که به دلیل عبورجریان از بازوهای عملگر ایجاد می شود.
Keywords:
Authors
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :