طراحی و شبیه سازی میکروهیتر ساخته شده با تکنولوژی MEMS
Publish place: Electronics Industries Quarterly، Vol: 3، Issue: 4
Publish Year: 1391
نوع سند: مقاله ژورنالی
زبان: Persian
View: 119
This Paper With 18 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
JR_SAIRAN-3-4_005
تاریخ نمایه سازی: 9 آبان 1402
Abstract:
یکی از اجزای کلیدی در میکروحساسهها میکروهیتر میباشد . از میکروهیترها در کاربردهای بسیاری ازجمله حساسه های گاز و حساسه های فشار استفاده میکنند . در این مقاله طراحی و شبیهسازی میکرهیتر ارائه شده است. آنالیز انتقال گرما به کار گرفته شده است تا مشخص شود کدام ساختار میکروهیتر بهترین بازدهی گرمایی را دارد. حساسیت و دقت یک حساسه گازی که در آن از هیتر استفاده می شود به یکنواختی دما در ناحیه فعال هیتر وابسته است. چندین روش برای ایجاد توزیع یکنواخت گرما در میکروهیترها وجود دارد. در این مقاله روش اصلاح شکل هندسی میکروهیتر بررسی شده است. هشت هندسه مختلف طراحی شده و به کمک نرم افزار CowentorWare شبیهسازی شده است تا بررسی شود میکروهیتر با کدام هندسه بیشترین یکنواختی گرما را داراست. نتایج شبیهسازی نشان میدهد که ساختار Ω- شکل بهترین یکنواختی گرما را دارد.
Keywords:
Authors
فاطمه سمائی فر
دانشگاه صنعتی مالک اشتر،