طراحی و شبیه سازی میکروهیتر ساخته شده با تکنولوژی MEMS

یکی از اجزای کلیدی در میکروحساسهها میکروهیتر میباشد . از میکروهیترها در کاربردهای بسیاری ازجمله حساسه های گاز و حساسه های فشار استفاده میکنند . در این مقاله طراحی و شبیهسازی میکرهیتر ارائه شده است. آنالیز انتقال گرما به کار گرفته شده است تا مشخص شود کدام ساختار میکروهیتر بهترین بازدهی گرمایی را دارد. حساسیت و دقت یک حساسه گازی که در آن از هیتر استفاده می شود به یکنواختی دما در ناحیه فعال هیتر وابسته است. چندین روش برای ایجاد توزیع یکنواخت گرما در میکروهیترها وجود دارد. در این مقاله روش اصلاح شکل هندسی میکروهیتر بررسی شده است. هشت هندسه مختلف طراحی شده و به کمک نرم افزار CowentorWare شبیهسازی شده است تا بررسی شود میکروهیتر با کدام هندسه بیشترین یکنواختی گرما را داراست. نتایج شبیهسازی نشان میدهد که ساختار Ω- شکل بهترین یکنواختی گرما را دارد.

Keywords:

آنالیز المان محدود , MEMS , میکروهیتر , توزیع دما , حساسه گاز