بررسی آثار برخورد یون های مختلف بر سطح آلومینیوم با استفاده از دستگاه پلاسمای کانونی نوع مدر با انرژی kJ ۵/۲

هدف از این تحقیق بررسی اثرات و تغییراتی است که بر اثر برخورد یون های مختلف تولیدی توسط دستگاه پلاسمای کانونی SBUPF۱ ( ۶/۸، kV ۲۵، kJ ۵/۲)  نوع مدر بر روی سطح آلومینیوم به وجود می آید. گازهای Ar و H+۱%Kr به عنوان گاز عملکردی در دستگاه پلاسمای کانونی استفاده شد. برای به دست آوردن بیشینه چگالی یونی، فشار و ولتاژ عملکردی بهینه برای گازAr  به ترتیب mbar ۴۵/۰ و kV ۲۲ و برای گاز H+۱%Kr به ترتیب برابر mbar ۵ و kV ۲۳ تعیین شد. برای تحلیل اثرات به وجود آمده بر روی سطح، از تصاویر SEM و برای آنالیز عنصری نمونه ها، از طیف نگاری EDX استفاده شد. ذوب شدگی، تبخیر سطحی، فرورفتگی ها و برجستگی ها، به وجود آمدن ترک و شکاف در سطح از جمله اثرات مشاهده شده بر روی سطح آلومینیوم با استفاده از تصاویر SEM می باشد. هم چنین شدت این اثرات در ارتفاعات مختلف از مکان تولید یون در داخل دستگاه پلاسمای کانونی مورد بررسی قرار گرفت. در آنالیز عنصری نمونه های آلومینیوم با استفاده از تکنیک EDX  نفوذ یون های مس ناشی از کندو پاش از آند دستگاه در هنگام تشکیل پینچ، به داخل نمونه های آلومینیوم مشاهده شد. محاسبات SRIM برای تعیین عمق نفوذ یون ها در داخل نمونه های آلومینیوم انجام شده است.

Keywords:

پلاسمای کانونی , آلومینیوم , مورفولوژی سطح , توزیع مکانی یون ها , میکروسکوپ الکترونی , طیف نگار پاشندگی اشعه ایکس , عمق نفوذ یون ها