طراحی ساختار مغناطیسی یک کاتد کندوپاش مگنترون با استفاده از شبیه سازی میدان مغناطیسی و بررسی نرخ لایه نشانی

در این مقاله با بهینه سازی پیکربندی اجزای مغناطیسی کاتد کندوپاش مگنترون تخت گرد توسط نرم افزار اجزای محدود ANSYS، یک طرح جدید برای چیدمان قطعات مغناطیسی کاتد پیشنهاد شده است. در این طرح با مایل قرار دادن آهنربای کناری نسبت به سطح هدف و بکارگیری یک مهار در زیر آن، خطوط شار مغناطیسی در ناحیه نسبتا وسیعی در بالای هدف موازی سطح آن شده است. علاوه بر این، یک نمونه کاتد بر اساس این طراحی ساخته و پارامترهای عملکردی آن اندازه گیری شده است. این پارامترها شامل بازدهی مصرف هدف و نرخ لایه نشانی است که در فشار ۵۰ میلی تور و توان ۱ کیلووات به ترتیب مقادیر ۵۶ درصد و ۱۶ نانومتر بر ثانیه برای آنها بدست آمد.

Keywords:

کاتد کندوپاش مگنترون , شبیه سازی میدان مغناطیسی , بهینه سازی میدان مغناطیسی , بازدهی مصرف هدف