بررسی اثر ضخامت لایه های نازک بسبلوریSnO۲ در حسگری گازهای O۲ و CO۲

در این تحقیق سه نمونه از لایه های نازک اکسید قلع خالص را که به روش اسپری پایرولیزیز بر روی زیرلایه شیشه لایه نشانی شده اند مورد مطالعه قرار دادیم. اینها به عنوان حسگر گازهای اکسیژن و دی اکسیدکربن استفاده می شوند. طیف عبوری لایه ها حاکی از نازکی لایه ها در محدوده نانومتری (nm ۲۰۰-۱۵۰)، و طیف XRD نشانگر تغییر سمتگیری بسبلوری از (۲۰۰) به (۱۱۰) می باشد که این تغییر سمت گیری بلوری به دلیل تغییر ضخامت لایه ها می باشد. همچنین ابعاد بلورکها از ۳۱ تا ۵/۲۲ نانومتر کاهش یافته است. حساسیت نمونه ها نسبت به ppm ۲۰۰۰ از این گازها نشان داد که دمای بهینه کاری در این نمونه ها برای گاز اکسیژن و دی اکسید کربن به ترتیب C◦۱۷۰ و C◦۱۸۰ می باشد. علاوه بر این دریافتیم نمونه با پایین ترین ضخامت (nm ۱۵۰) که از کوچکترین ابعاد بلورکی (nm ۵/۲۲) برخوردار بوده و سمتگیری ترجیهی در آن (۱۱۰) است و حساسیت آن برای گاز اکسیژن بیشتر از دی اکسید کربن است

Keywords:

لایه های نازک , اکسید قلع , اسپری پایرولیزیز , حسگر گاز , اکسیژن , دی اکسید کربن