متراکم سازی لایه نازک TEOS حاصل از سل - ژل بر روی آلومینیوم به کمک پلاسما

هدف پژوهش حا ضر امکان سنجی جایگزینی متراکم سازی در دمای بالا با متراکم سازی از طریق پلا سما در فرایندپو شش دهی سل -ژل می با شد. پیش ماده TEOS به محیط ا سیدی ا ضافه شده و هیدرولیز صورت می گیرد. پس ازهیدرولیز با گذ شت زمان محلول فوق به صورت سل و با گذ شت زمان بی شتر به ژل تبدیل خواهد شد. لایه ای از ژل بوجود آمده با استفاده از روش پوشش دهی غوطه وری بر روی فلز آلومینیوم نشانده می شود. سپس این لایه در معرض پلاسمای تابناک قرار داده شده تا عمل متراکم سازی انجام گیرد. برای مطالعه مورفولوژی سطح از تحلیل SEMا ستفاده شده ا ست . تاثیر پارامترهای مختلف پلا سما از جمله ف شار و مدت زمان قرار گیری نمونه در معرض پلا سما بر روی متراکم سازی لایه مطالعه می شود.

Keywords:

سل - ژل , تخلیه سد الکتریکی , تترااتوکسی سیلان , آلومینیوم