مفاهیم و اجزای کلیدی در دستگاه های کاشت یونی ؛ گسترده ترین راهبردها و کاربردها

Publish Year: 1402
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 89

This Paper With 5 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

ECME20_042

تاریخ نمایه سازی: 7 اسفند 1402

Abstract:

در این مقاله به بررسی اصولی دستگاه کاشت یونی پرداخته می شود. کاشت یونی، فرایندی پیچیده و پیشرفته در عرصه فناوری مواد و نیمه رساناها است که از طریق آن یون ها با انرژی بالا به درون یک ماده پاشیده می شوند. این روش به طور گسترده در صنایع الکترونیک، پزشکی و تحقیقات مواد استفاده می شود. مقاله حاضر تلاش دارد تا با بررسی اجزای کلیدی و مکانیزم های عملکردی دستگاه کاشت یونی، درک عمیق تری از این فناوری و کاربردهای آن ارائه دهد.

Authors

هومن تونی

دانشجوی کارشناسی ارشد دانشکده برق دانشگاه جامع امام حسین(ع)، گرایش میکرو و نانو الکترونیک

سید محمد علوی

دانشیار دانشکده برق دانشگاه جامع امام حسین(ع)