طراحی، ساخت و مطالعه حسگر اتانول بر پایه لایه های نازک (TiO(۲
Publish Year: 1402
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 42
This Paper With 12 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCIIE01_084
تاریخ نمایه سازی: 26 اسفند 1402
Abstract:
حسگرهای اتانول مبتنی بر لابه های نازک (TiO(۲ با استفاده از کندوپاش مغناطیسی RF ساخته شدند. ساختار بلوریدستگاه، ریخت شناسی سطح و عملکرد سنجش گاز با تغییر توان کندوپاش مورد بررسی قرار گرفت، ویژگی های حسگر بااستفاده از پراش پرتو ایکس، میکروسکوپ نیروی اتمی و میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی مورد مطالعه قرارگرفت. نمونه های ساخته شده در توان های پایین (۱۰۰ و ۲۰۰w) ساختاری چهارضلعی با فاز مخلوط آناتاز و روتایلداشتند در حالی که نمونه ی انباشت شده در توان ۳۰۰w، یک فاز آناتاز را نشان می دادند. نتایج نشان داد که تغییر توانکندوپاش به دلیل تغییر در ساختار بلوری، فاز و ریخت شناسی سطح. تاثیر قابل توجهی بر عملکرد سنجش گاز اتانولدستگاه ها دارد. نمونه ی تولید شده با توان کندوپاش ۲۰۰w حساسیت بیشتری نسبت به نمونه های دیگر و گزارش هاییکه تاکنون ارائه شده است؛ نشان داد.
Keywords:
Authors
سعیده گودرزی
استادیار گروه فیزیک، واحد چالوس، دانشگاه آزاد اسلامی، چالوس
کیخسرو خجیر
دانشیار گروه فیزیک، واحد چالوس، دانشگاه آزاد اسلامی، چالوس
معصومه فیروزی
استادیار گروه فیزیک، واحد کاشان، دانشگاه آزاد اسلامی، کاشان