مروری بر روش نوین پلاسمای الکترولیتی کاتدی جهت ترسیب لایه های نازک نانوساختار

طی چندین دهه ی اخیر در دنیای علم فیزیک، روش های الکتروشیمیایی، روش های الکترونی، یونی، باریکه ی لیزری و پلاسما به منظور رسوب گذاری و ته نشست لایه های نازک، توسعه یافته اند. لایه هایی که ضخامت آنها می تواند از یک دهم نانومتر تا چندین میکرومتر باشد، به این روش ها تهیه می شوند . اخیرا لایه های سطحی نازک روی مواد مختلف به ویژه فلزها، اعم از مواد طبیعی (اکسیدها و یا ترکیبات مشتق از مادهی زیرلایه) و مصنوعی یا انباشت شده، مورد توجه پژ وهش فناورانی است که به مسائل خوردگی و حفاظت ماده طی فناوری خلاء علاقه مند می باشند. لذا هدف اصلی در این مقاله، مرور کلی بر چگونگی عملکرد روش نوین پلاسمای الکترولیتی کاتدی و بررسی میزان نفوذ این شاخه به علم لایه های نازک است.

مروری بر روش نوین پلاسمای الکترولیتی کاتدی جهت ترسیب لایه های نازک نانوساختار Keywords:

فیزیک لایه های نازک , پلاسمای الکترولیتی کاتدی , خوردگی , الکتروشیمیایی , باریکه ی لیزری