لایه نشانی لایه نازک کربن شبه الماسی بر زیرلایه شیشه ای به روش RF-PECVD
Publish place: 3nd National Fuel, Energy and Environment National Congress
Publish Year: 1392
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,862
This Paper With 5 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
FEENC03_006
تاریخ نمایه سازی: 28 آذر 1392
Abstract:
در این تحقیق لایه نازک کربن شبه الماسی به روش رسوب شیمیایی بخار تقویت شده به کمک پلاسما بر زیر لایه شیشه ایلام لایه نشانی شد. ضخامت و رافنس لایه نازک کربن شبه الماسی با استفاده از تکنیک هایی مانند میکروسکوپ نیروی اتمی مورد ارزیابی قرارگرفت. از دستگاه اسپکتروفوتومتری برای بررسی شفافیت پوشش بر زیرلایه شیشه ای استفاده شد. همچنین چسبندگی پوشش به وسیله تست نوار بررسی شد. نتایج ضخامت سنجی نشان داد نرخ لایه نشانی لایه نازک کربن شبه الماسی3/5 نانومتر بر دقیقه میباشد. همچنین نتایج تست چسبندگی ورافنس سطح نشان داد لایه نازک کربن شبه الماسی از چسبندگی مناسبی بر زیر لایه برخوردار بوده و رافنس سطح نیز کمتر از 5 نانومتر میباشد.
Keywords:
لایه نازک , کربن شبه الماسی- DLC- PECVDRF
Authors
اکبر اسحاقی
استادیار دانشکده مهندسی مواد دانشگاه صنعتی مالک اشتراصفهان
فخر الدین مجیدی
کارشناسی ارشد دانشگاه صنعتی مالک اشتراصفهان
اسماعیل کرمی
دانشجوی کارشناسی ارشد دانشگاه صنعتی مالک اشتراصفهان
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :