کاشت یون دی اکسیدکربن بر روی تیتانیوم نیتراید ( TiN)

نمونه تیتانیوم را با دوزهای [مقادیر در متن مقاله] یون بر سانتی متر مربع ، بوسیله نیتروژن با انرژی ٣٠ kev کاشت می کنیم و سپس آنها را توسط یون CO2 با همان انرژی و با دوزهای [مقادیر در متن مقاله] یون بر سانتی متر مربع مورد کاشت قرار می دهیم . برای بررسی توپوگرافی و زبری در نمونه ها بوسیله میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) از آنها تصویر گرفته شد . همچنین ساختار نمونه و فازهای تشکیل شده توسط پراش پرتو (XRD) x بررسی گردید . همچنین سختی نمونه بوسیله سختی سنجی ویکرز (VHN) اندازه گیری شد . نتایج نشان می دهد که با افزایش دوز نیتروژن میزان تراکم اتم ها در نمونه بیشتر ، سطح زبرتر، اندازه دانه ها بزرگتر می شود و میزان سختی نیز تا حدی افزایش و سپس کاهش می یابد . بعد از کاشت CO2 افزایش دوز سبب شده که میزان زبری سطح افزوده، اندازه دانه ها درشت تر و میزان سختی زیاد می گردد ، که این افزایش سختی احتمالاً به دلیل فاز های تشکیل شده خواهد بود .