بررسی تاثیر دمای پرتو یونی بر روی شکل توزیع یونی نشانده شده در فرایند یون نشانی
Publish place: Iranian Physics Conference 1385
Publish Year: 1385
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 1,766
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دانلود نمایند.
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
IPC85_091
Index date: 2 February 2007
بررسی تاثیر دمای پرتو یونی بر روی شکل توزیع یونی نشانده شده در فرایند یون نشانی abstract
در تولید ترکیبات نانو با استفاده از فرایند یون نشانی ، کنترل شکل توزیع یونهای نشانده شده در سطح جامد به دلیل حساس بودن خواص سطحی اینگونه مواد به ناخالصی ایجاد شده در خلال فرایند یاد شده ، از اهمیت فوق العادهای برخوردار است . در این مقاله با معرفی دمای پرتو یونی به عنوان یک مشخصه مهم برای کنترل اندازه توزیع نشانده شده ، پرتوهای یونی سرد به عنوان یک روش جایگزین مناسب برای روشهای متداول مانند پرتوهای یونی متمرکز شده FIB پیشنهاد شده است . برای شبیه سازی تابش پرتوهای یونی با دماهای مختلف از نرم افزار SIMION استفاده شده است شده و در مرحله بعد پس از آنکه پرتوهای با دماهای مختلف شبیه سازی شد ، این پرتوها با سطح یک جامد اندرکنش میکنند . نرم افزار Srim برای تجزیه و تحلیل چگونگی توزیع یونها در داخل سطح جامد بکار گرفته میشود .
بررسی تاثیر دمای پرتو یونی بر روی شکل توزیع یونی نشانده شده در فرایند یون نشانی authors
اسماعیل احمدی
دانشکده فیزیک ، دانشگاه علم و صنعت ایران ، تهران
عبدالمحمد قلمبر دزفولی
جهاد دانشگاهی واحد دانشگاه شهید بهشتی ، تهران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :