مطالعه عددی تاثیر ابعاد پایه و الکترود در پاسخ آینه میکروالکترومکانیکی به تحریک الکترواستاتیکی توسط الکترودهای مربعی و دایروی

در این مطالعه اثر ابعاد هندسی پایه مارپیچ شکل یک میکروآینه بر حداکثر جابجایی و پاسخ زمانی آن، طی تحریک الکترواستاتیکی به صورت عددی بررسی شده است. همچنین اثر ابعاد الکترود و شکل آن نیز مطالعه شده است. به این منظور از یک آرایه ۱۶ تایی از الکترودهای مربعی و دایروی استفاده شده است که اختلاف پتانسیل یک ولت به آن اعمال می شود. نتایج نشان می دهد با افزایش طول دستک پایه از ۴۰۰ به۴۴۰ میکرومتر، برای الکترود مربعی جابجایی و زمان پاسخ به ترتیب ۱۷ و ۱۵ درصد، و برای الکترود دایروی به ترتیب ۳۳ و ۱۲ درصد افزایش می یابد. با افزایش عرض دستک از ۱۰ به ۳۰ میکرومتر، جابجایی و زمان پاسخ در الکترود مربعی به ترتیب ۵۹ و ۳۰ درصد، و در الکترود دایروی به ترتیب ۶۴ و ۲۵ درصد کاهش پیدا می کند. در مجموع در صورت استفاده از الکترود مربعی بجای الکترود دایروی حداکثر جابجایی میکروآینه افزایش و زمان پاسخ آن کاهش می یابد. با افزایش ضلع/قطر الکترود از ۴۰ به ۸۰ میکرومتر، بسته به ابعاد پایه، حداکثر جابجایی میکروآینه بین دو تا سه برابر افزایش پیدا می کند.

Keywords:

میکروآینه , نیروی الکترواستاتیک , ابزار میکروالکترومکانیکی