شبیه سازی حسگر فشار خازنی براساس تکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی
Publish place: National Conference on Engineering Sciences, New Ideas (8)
Publish Year: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 611
This Paper With 5 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
AIHE08_569
تاریخ نمایه سازی: 13 آبان 1393
Abstract:
در این مقاله یک حسگر فشار با حساسیت بسیار بالا ارائه شده که در آن تکنیکی برای جبران سازی حرارتی پیشنهاد گردیده است. تکنیک پیشنهادی از یک راه حل هندسی برای جبران سازی خودکار اثر کاهش مدول یانگ براثر افزایش بهره خواهد برد که طی آن یک فنر نگهدارنده جرم، توسط یک فنر با طول و عرض بزرگتر به تکیه گاه متصل می شود. با توجه به اتصال فنر اصلی به فنر بزرگ، در اثر کششی که از اختلاف افزایش طول فنر بزرگ و فنر اصلی، در فنر اصلی ایجاد می شود سفتی این فنر افزایش خواهد یافت. این اثر می تواند کاهش ثابت فنر اصلی را در اثر وابستگی حرارتی مدول یانگ جبران کند. خطای فشار ناشی از تغییرات حرارت در ساختار جبران شده کمتر از 22Pa بوده که در مقایسه با کارهای پیشین بهبود قابل توجهی را از خود نشان می دهد. این حسگر مساحتی در حدود 0.03288mm2 را اشغال کرده و حساسیت آن 290ppm می باشد.
Keywords:
Authors
زینب بهزادی
دانشکده مهندسی دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران مرکزی
آرش میرعبدالله لواسانی
دانشکده مهندسی دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران مرکزی
احمد حسینی سیانکی
دانشکده مهندسی دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران مرکزی
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :