آشنایی با سیستمهای میکروالکترومکانیکی شامل میکرو حسگرها ، میکرو عملگرها و تشدیدگرهای میکروالکترومکانیکی

Publish Year: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,197

This Paper With 9 Page And PDF Format Ready To Download

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

SENACONF01_389

تاریخ نمایه سازی: 25 فروردین 1394

Abstract:

فناوری سیستمهای میکروالکترومکانیکی، حاصل تلاش محققان در حوزههای مهندسی مکانیک، برق، شیمی و متالوژی درمسیر ساخت حسگرها و عملگرها در ابعاد بسیار کوچک در حدود هزارم میلیمتر میباشد. این فناوری پهنهی وسیعی از دنیایامروز را دربر گرفته و سرعت رشد آن روزافزون میباشد. در این گزارش سعی شده تا با معرفی عملکرد این سیستمها و نشان دادن کاربردهای فراوان آن در عرصه فناوریهای نوین، راهی روشن پیشروی محققین داخلی قرار دهیم

Authors

هادی میرزایی ملاسرایی

دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی مکانیک، دانشگاه بیرجند

مهدی راغبی

استادیار گروه مهندسی مکانیک، دانشکده مهندسی، دانشگاه بیرجند

مراجع و منابع این Paper:

لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :
  • Khoshnoud, Farbod, & de Silva, Clarence W. Recent advances in ...
  • Rao, Singiresu S _ Yap, Fook Fah. Mechanical vibrations, _ ...
  • Serrano, Diego Emilio. Design and analysis of mems accelerom eters. ...
  • Bell, DJ, Lu, TJ, Fleck, NA, & Spearing, SM. MEMS ...
  • Chiou, JC, & Lin, YJ. A novel large displacement electrostatic ...
  • Kaajakari, Ville. Theory and analysis of MEMS resonators VTI Technologies, ...
  • Benjamin C. Vibration Transmission and Support Loss in MEMS Sensors. ...
  • Nathanson, Harvey C, Newell, William E, Wickstrom, Robert A, & ...
  • Nguyen, CT-C. MEMS technology for timing and frequency control. Transactions ...
  • Rantkari, P. Low noise, Low power m icromechanicl oscillator. In ...
  • Biyikli, N, Damgaci, Y, & Cetiner, BA. Low-voltage small-size double-arm ...
  • Park, Jae Y, Yee, Young J, Nam, Hyo J, & ...
  • Haddab, Yassine, Claillet, Nicolas, & Bourjault, Alain. A microgripper using ...
  • Hung, Elmer S, & Senturia, Stephen D. Extending the travel ...
  • Mu, Xiaohong, Kahrizi, M, & Landsberger, L. Design & fabrication ...
  • Eddy, David S, & Sparks, Douglas R. Application of MEMS ...
  • Serrano, Diego Emilio. Design and analysis of mems gyroscopes. Conferance ...
  • Hickey, Ryan, Sameoto, Dan, Hubbard, Ted, & Kujath, Marek. Time ...
  • Lin, Gisela, Palmer, Roy E, Pister, Kristofer SJ, & Roos, ...
  • نمایش کامل مراجع