بررسی افزایش دمای سطح بواسطه بمباران ذرات باردار در محیط پلاسما
Publish place: Second National Conference on Materials Engineering
Publish Year: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 514
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
NCOMAE02_073
تاریخ نمایه سازی: 16 خرداد 1394
Abstract:
در این تحقیق به بررسی اثر بمباران ذرات باردار (یونها و الکترونها) بر افزایش دمای سطح در محیط پلاسما پرداخته شده وچگالی شار انرژی ناشی از ذرات باردار بر روی زیرلایه مورد مطالعه قرار میگیرد. نتایج بدست آمده نشان میدهد که چگالیشار الکترون ها و انرژی آنها در مقایسه با یونها ناچیز بوده و در قیاس با آنها نقشی در افزایش دمای سطح ندارند. نیز اگرچهکه در محیط لایه نشانی پلاسمایی، چگالی شار یونها با افزایش ولتاژ زیرلایه کاهش می یابد اما افزایش انرژی آنها با بایاس،منجر به افزایش دمای زیرلایه می شود. افزایش درجهی یونیزاسیون پلاسما نیز منجر به افزایش دمای سطح می گردد.
Authors
سمیه مهرابیان
دانشکده فیزیک، دانشگاه شاهرود، شاهرود، ایران