بررسی افزایش دمای سطح بواسطه بمباران ذرات باردار در محیط پلاسما
Publish place: Second National Conference on Materials Engineering
Publish Year: 1393
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 557
This Paper With 6 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
NCOMAE02_073
Index date: 6 June 2015
بررسی افزایش دمای سطح بواسطه بمباران ذرات باردار در محیط پلاسما abstract
در این تحقیق به بررسی اثر بمباران ذرات باردار (یونها و الکترونها) بر افزایش دمای سطح در محیط پلاسما پرداخته شده وچگالی شار انرژی ناشی از ذرات باردار بر روی زیرلایه مورد مطالعه قرار میگیرد. نتایج بدست آمده نشان میدهد که چگالیشار الکترون ها و انرژی آنها در مقایسه با یونها ناچیز بوده و در قیاس با آنها نقشی در افزایش دمای سطح ندارند. نیز اگرچهکه در محیط لایه نشانی پلاسمایی، چگالی شار یونها با افزایش ولتاژ زیرلایه کاهش می یابد اما افزایش انرژی آنها با بایاس،منجر به افزایش دمای زیرلایه می شود. افزایش درجهی یونیزاسیون پلاسما نیز منجر به افزایش دمای سطح می گردد.
بررسی افزایش دمای سطح بواسطه بمباران ذرات باردار در محیط پلاسما authors
سمیه مهرابیان
دانشکده فیزیک، دانشگاه شاهرود، شاهرود، ایران