کاهش خطا در شتاب سنج خازنی MEMS به منظورافزایش دقت شتاب سنج با استفاده از مدولاتور سیگما دلتا
Publish place: The first national electronic conference on technological advances in electrical, electronics and computer engineering
Publish Year: 1393
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 1,179
This Paper With 9 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
TDCONF01_194
Index date: 10 July 2015
کاهش خطا در شتاب سنج خازنی MEMS به منظورافزایش دقت شتاب سنج با استفاده از مدولاتور سیگما دلتا abstract
مقابله با نویز به عنوان عامل محدود کننده دقت در سنسورهای با ابعاد میکرونی بسیار اهمیت دارد. در اینجا نشان می دهیم که با استفاده از مدولاسیون سیگما دلتا می توان علاوه بر اخذ خروجی دیجیتال، توان نویز براونی را کاهش داد. در این مقاله ابتدا به معرفی منبع عمده تولید نویز پرداخته شده و سپس مدولاتور سیگما دلتا شرح داده شده و ترکیب خاصی از آن به منظور کاهش خطای غیر سیستماتیک مکانیکی طراحی گشته است. در این طراحی یک شتاب سنج خازنی میکرو الکترومکانیکی به صورت حلقه بسته با شتاب ورودی قابل قبول 10g ± مدل سازی و شبیه سازی شده است. از میان انواع مبدل ها و روش های حسگری موجود، از روش خازنی به دلیل سازگاری آن با تکنولوژی Mems و مدارات مجتمع جهت پردازش سیگنال استفاده شده است. در طراحی مدارات الکترونیک از یک تقویت کننده مد بار سوئیچ خازنی برای رسیدن به بهره بالا و یک مدولاتور سیگما دلتا جهت کاهش نویز استفاده شده است. هدف این طراحی، کم کردن نویز کلی معادل شتاب از طریق کم کردن نویز براونین معادل شتاب و بدست آوردن مقداری بهینه برای مقادیر خازنی است. در این طراحی میزان فرکانس 1.6 KHz حاصل گردیده است. . با استفاده از نتایج این شتاب سنج مقادیر حساسیت، نویز براونین معادل شتاب، نویز مداری معادل شتاب، و نویز معادل کلی شتاب به ترتیب 0.356 pfg -1، 0.65µgHz -1/2 ، 0.56µgHz -1/2 ، 0.86µgHz -1/2 ، بدست آمده است که این مقادیر خوب و بهینه ای هستند.
کاهش خطا در شتاب سنج خازنی MEMS به منظورافزایش دقت شتاب سنج با استفاده از مدولاتور سیگما دلتا Keywords:
کاهش خطا در شتاب سنج خازنی MEMS به منظورافزایش دقت شتاب سنج با استفاده از مدولاتور سیگما دلتا authors
وحید حجتی
دانشجوی کارشناسی ارشد الکترونیک دانشگاه جامع امام حسین(ع)
سید محمد علوی
استادیار دانشگاه جامع امام حسین(ع)
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :