سنتزلایه های نازک تیتانیوم آلومینیوم نیتراید بااستفاده ازدستگاه پلاسما فوکوس
Publish Year: 1393
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 392
This Paper With 8 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
MATHPHY02_164
تاریخ نمایه سازی: 30 شهریور 1394
Abstract:
دراین مطالعه تشکیل لایه های نازک تیتانیوم الومینیوم نیتراید روی زیرلایه استیل ضدزنگ توسط دستگاه پلاسما فوکوس کم انرژی نوع مدر ارایه میشود لایه های نازک TiAlN درفاصله 5Cm ازبالای آند و باتعداد شات های متفاوت روی استیل ضدزنگ تحت زاویه صفر درجه نسبت به محور اند تشکیل شدند نمونه های لایه نشانی شده بوسیله پراش اشعه ایکس میکروسکوپ الکترونی روبشی و میکروسکوپ نیروی اتمی مورد بررسی قرارگرفتند نتایج پراش اشعه ایکس رشدکریستالهای TiAlN برروی سطح نمونه ها را نشان داد نتایج میکروسکوپ الکترونی روبشی نشان میدهد که افزایش تعداد شاتها منجر به نهشت بیشتر مواد برروی زیرلایه شده و اندازه نانوذرات TiAlN افزایش می یابد باتوجه به تصاویر میکروسکوپ نیروی اتمی باافزایش تعدادشاتها اندازه دانه ها و ضخامت میانگین سطح افزایش می یابد
Keywords:
Authors
حسن انوشا
باشگاه پژوهشگران جوان ونخبگان واحد تبریز دانشگاه آزاد اسلامی تبریز ایران
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :