بررسی تجربی تاثیر دمای بازپخت بر خواص اپتیکی و ساختاری لایه های نازک و پودرهای Al2O3 تهیه شده به روش سل-ژل

در این تحقیق تاثیر دمای باز پخت بر خواص اپتیکی و ساختاری لایه هاب نازک اکسید آلومینیوم که به روش سل-ژل روی زیر لایه شیشه ای تهیه شده اند، مورد بررسی قرار گرفته است. طیف تراگسیل لایه ها به وسیله طیف سنج UV-visible اندازه گیری شد. الگوی پراش لایه های آلومینا و پودرهای تهیه شده از روش سل-ژل توسط آنالیز XRD و مشخصه مورفولوژیک سطح لایه توسط میکروسکوپ نیروی اتمی AFM مورد مطالعه قرار گرفت. نتایج نشان می دهند که با افزایش دمای باز پخت از تراگسیل لایه ها کاسته می شود. الگوی پراش لایه های تهیه شده تا دمای 500 درجه سانتیگراد ساختار آمورف را نشان داده و هیچگونه جهت گیری خاصی حاکی از کریستالی بودن لایه ها مشاهده نشده است. نقش پراش پرتو X، پودرهای تهیه شده نشان می دهد که پودرها تا دمای 700 درجه سانتیگراد آمورف بوده و فاز Al2O3 γ در دمای 800 درجه سانتیگراد ظاهر می شود. افزایش دمای گرمایش تا 1000 درجه سانتگراد باعث انتال فاز از γ به α می شود.