شبیه سازی حسگر تصویر CMOS مبتنی بر سه فتودیود عمودی

در این مقاله سنسور تصویر CMOS با سه فتو دیود عمودی شبیه سازی شده است. در این سنسور از یک پیکسل برای شناسایی سه رنگ اصلی آبی، سبز و قرمز استفاده شده است. بدین صورت که از خاصیت عمق نفوذ نور در سیلیکون در طول موج های مختلف استفاده کرده و به سه عدد فتودیود در عمق های مختلف سیلیکون دست پیدا می کنیم که هر فتودیود در تشخیص یکی از سه رنگ اصلی با طول موج های 440 و 500 و 620 نانومتر استفاده می شود. در این مقاله این سنسور را توسط نرم افزار سیلواکو شبیه سازی کرده و خروجی های حاصل از فتودیودها را در طول موج های مختلف نور بدست می آوریم. علاوه بر این اثر تغییرات پارامترهای ساختاری قطعه را بررسی نموده و نتایج را با هم مقایسه می کنیم.

Keywords:

سنسور تصویر CMOS , پیکسل , ناحیه ناخالصی , عمق نفوذ , فتودیود