بهینه سازی توزیع ضخامت لایه نازک روی سیگمنت های کروی با استفاده از روش مونت کارلو
Publish place: 7th Iranian Seminar on Surface Engineering
Publish Year: 1385
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 1,290
This Paper With 8 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
ISSE07_088
Index date: 18 June 2008
بهینه سازی توزیع ضخامت لایه نازک روی سیگمنت های کروی با استفاده از روش مونت کارلو abstract
در این کار به کمک شبیه سازی کامپیوتری، یکنواختی لایه های نازک انباشتی در خلا به روش تبخیر حرارتی را روی بستره های شیش های بررسی می کنیم. در این فرآیند سیستمی در اختیار داریم که در آن فرآیند تبخیر از چشمه گسیلی با مساحت کوچک اتفاق می افتد. از آن جایی که ممکن است آهنگ گسیل بخار برای تمام نقاط چشمه یکسان نباشد و همچنین تابع توزیع به صورت توزیع فوق کسینوسی یا ز یر کسینوسی باشد، چشمه با مساحت کوچک را به چشمه های نقطه ای تقسیم کرده و تابع توزیع ضخامت لایه را به صورت مجموع توابع توزیع هر یک از این چشمه ها که از قانون توزیع کسینوسی پیروی می کنند، در نظر می گیریم. نهایتا انتگرال تابع توزیع کل برای تمام حالت ها را به کمک روش مونت کارلو حل کرده و یکنواختی ضخامت لایه یا لایه های تشکیل شده روی سطح بستره ها را به دست می آوریم.
بهینه سازی توزیع ضخامت لایه نازک روی سیگمنت های کروی با استفاده از روش مونت کارلو authors
مهدی زادسر
گروه فیزیک، دانشگاه اصفهان
حمیدرضا فلاح
گروه فیزیک، دانشگاه اصفهان
مرتضی حاج محمود زاده
گروه فیزیک، دانشگاه اصفهان
حمید رضا رهنما
شرکت صنایع اپتیک اصفهان