نقش پوششTiN اعمال شده به روش PACVD و نیتروژندهی پلاسمایی بر خواص ریزساختاری فولاد گرمکار H13
Publish place: 10th joint meeting of the 5th International Conference on Materials and Metallurgical Engineering Society and Iranian Foundry Society
Publish Year: 1395
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 392
This Paper With 10 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
IMES10_515
تاریخ نمایه سازی: 6 اردیبهشت 1396
Abstract:
در این پژوهش تاثیر فرآیند پوششدهی به وسیلهی روشهای PACVD و نیتراسیون پلاسمایی بر روی برخی خواص ریزساختاری زیرلایه مورد مطالعه و بررسی قرار گرفته است. پوشش تیتانیمنیترید در دمای ℃ 510 بر رویزیرلایهی فولاد 13H ایجاد گردید. گازهای واکنشگر 4TiCl ، 2N ، 2H و Ar با فشار به ترتیب 1 / 0 ، 5 / 2 ، 5 / 1 و rmba 5 / 1 برای ایجاد پوشش تیتانیومنیترید مورد استفاده قرار گرفتند. فرآیند نیتراسیون پلاسمایی در دمای ℃ 500 و درشرایطی صورت پذیرفت که نسبت گازی N2N2+H2 برابر با 15 % بود. مشخصهیابی پوششهای ایجاد شده بر رویزیرلایه بوسیلهی میزان ضخامت پوشش، میکروسختیسنجی، ترکیب فازی و مورفولوژی سطح پوششها مورد ارزیابی قرار گرفت. بررسیهای زبری سطح نشان داد که زبری سطح) Ra ( در روش نیتراسیون پلاسمایی برابرnm130 و در روش PACVD برابر با nm30 میباشد. سختی پوشش تیتانیوم نیترید برابر با 1300 ویکرز میباشد در حالی که سختی سطح زیرلایه بعد از نیتراسیون پلاسمایی برابر با 1200 ویکرز میباشد
Keywords:
Authors
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :