ساخت میکروکانال با استفاده از روش لیتوگرافی نرم و بررسی پخش در ابعاد نانولیتر
Publish place: 9th Conference on Condensed Matter
Publish Year: 1387
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 3,947
متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دانلود نمایند.
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
CMC09_097
Index date: 26 December 2008
ساخت میکروکانال با استفاده از روش لیتوگرافی نرم و بررسی پخش در ابعاد نانولیتر abstract
لیتوگرافی نرم یکی از مرسوم ترین روش های ساخت تراشه های میکرونی است. با این روش امکان تولید میکرو مدارات مجتمع و کانال هایی با ابعاد نانومتر امکان پذیر است. در این مقاله روش ساخت کانال های میکرونی با استفاده از روش لیتوگرافی نرم را ارائه می دهیم و نمونه ای از کانال هایی که با این روش ساخته ایم را زیر میکروسکوب تست کرده و به عنوان یک آزمایش نشان می دهیم طول پخش دو سیال در ابعاد میکرونی از مرتبه ی سانتی متر است.
ساخت میکروکانال با استفاده از روش لیتوگرافی نرم و بررسی پخش در ابعاد نانولیتر authors
حسین ناصری
آزمایشگاه میکروشاره ، دانشکده فیزیک ، دانشگاه تحصیلات تکمیلی در علوم پایه
مهدی حبیبی
آزمایشگاه میکروشاره ، دانشکده فیزیک ، دانشگاه تحصیلات تکمیلی در علوم پایه