ساخت قطعه در ابعاد میکرو
Publish place: 2nd Conference in the Manufacturing Engineering
Publish Year: 1388
Type: Conference paper
Language: Persian
View: 2,847
This Paper With 14 Page And PDF Format Ready To Download
- Certificate
- I'm the author of the paper
Export:
Document National Code:
NMEC02_157
Index date: 5 November 2009
ساخت قطعه در ابعاد میکرو abstract
میکرو ماشین کاری و تکنولوژی های ساخت در اندازه میکرو که بطور مستقیم برای ساخت سیستم های میکرو الکترو مکانیکی استفاده می شوند محدودیتهای خاص خودشان را دارند برای مثال دراین تکنولوژی ، ساختاری که تولید می شود اغلب به استفاده از سیلیکون محدود می شود و تجهیزاتی که برای این تکنولوژی مورد نیاز است بسیار گران می باشد روشهای پرکاربرد میکروماشین کاری و تکنولوژی های ساخت قطعات در ابعاد میکرو شامل پروسه های روبرو می باشد : 1) متدهای براده برداری مانند میکروماشین کاری تخلیه الکتریکی، سنگ زنی با تخلیه الکتریکی و سیم و میکروماشین کاری لیزر 2) تکنیکهای رسوب دهی ماده مانند رسوب دهی بخار شیمیایی به کمک لیزر، استریو لیتوگرافی ماورا بنفش ، اچ کردن 3) LIGA ( که از یک کلمه آلمانی گرفته شده) و دیگر متدهای وابسته به فوتولیتوگرافی، مقاله حاضر به بررسی و مقایسه متدهای ذکر شده پرداخته است. برای ارزیابی روشها و معیارهای مطرح شده در پایان جدولی تهیه شده است که به مقایسه روشها و تکنولوژیها ی ذکر شده و نقاط قوت و ضعف هر یک می پردازد. با توجه به این جدول، پروسه LIGA علی رغم تجهیزات گران و قیمت ساخت یکی از مهمترین و کارآمدترین تکنیک ها می باشد.
ساخت قطعه در ابعاد میکرو Keywords:
ساخت قطعه در ابعاد میکرو authors
مهدی تاجداری
دانشیار دانشگاه صنعتی مالک اشتر تهران
سعید زارع چاوشی
دانشجوی کارشناسی ارشد مهندسی مکانیک، ساخت و تولید دانشگاه صنایع و معا
احسان شهبازی
کارشناس مهندسی مکانیک، ساخت و تولید
مراجع و منابع این Paper:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این Paper را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود Paper لینک شده اند :