پایدارسازی ساختار تتراگونال زیرکونیا در سرمتهای لایه نازکZr-O وابستگی آن به اندازه بلور کھا

در این مقاله، لایه های نازکی از ترکیبات سرمت Zr - ZrO به روش اسپاترینگ مگنترون بر روی زیرلایه هایی از Si و نیز کوارتز همجوشیده جایگذاری شده، پاسخ اپتیکی نمونه ها به تغییر فشار جزیی اکسیژن و نیز تاثیر باز پخت لایه ها بر ساختار بلوری لایه و طیف نوری نمونه ها مورد بررسی تجربی قرار گرفته است. نتایج حاصل از XRD حاکی از بی شکل بودن ترکیبات کامپوزیت تهیه شده بود؛ اما آزمایشها نشان دادند که باز پخت در خلاء موجب ایجاد ساختار بس بلوری در آنها شده است. بررسی تجربی انجام شده نشان داد که در شرایط خاص لایه گذاری، فاز تتراگونال زیرکونیا در دمایی پایین تر از دمای نرمال گذار خود متبلور شده است که این پدیده غیرعادی، ناشی از پایدارسازی وابسته به اندازه ذرات می باشد. پس بر اساس نتایج به دست آمده، بدون افزودن ناخالصی نیز امکان پایدارسازی فاز تتراگونال زیرکونیا وجود دارد.

Keywords:

سرمت , کامپوزیت , زیرکونیا , پایدارسازی وابسته به اندازه ذرات , اسپاترینگ , 0 - XRD , SAD , Zr