مطالعه یون ها ی آرگون و پرتوهای ایکس سخت در دستگاه پلاسمای کانونی دانشگاه امیرکبیر

Publish Year: 1388
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: Persian
View: 1,338

متن کامل این Paper منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل Paper (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.

  • Certificate
  • من نویسنده این مقاله هستم

استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:

لینک ثابت به این Paper:

شناسه ملی سند علمی:

IPC88_238

تاریخ نمایه سازی: 28 دی 1388

Abstract:

دستگاه پلاسمای کانونی امیرکبیر از نوع مدر با مشخصات 16 kV و 36μF و 115nH می باشد. در این مقاله نتیجه های اولیه ی اندازه گیری طیف انرژی یون های آرگون در فشارهایTorr 0.85-1.1 ارائه شده است. برای اندازه گیری ها از فنجان فارادی در حالت کاری ولتاژ معکوس استفاده شده است. تغییرات فشار گاز بهینه با گاز کاری آرگون در ناحیه کاری kV 10.5-15.5 و فشار Torr 0.6-2 اندازه گیری شده است. همچنین تغییرات جریان تخلیه در ولتاژ مختلف کاری در فشار بهینه گاز اندازه گیری و گزارش شده است.