بررسی رفتار ساختاری ( استاتیک ، مودال و هارمونیک ) تحت عامل هوای فشرده در میز هوایی ماشینهای فوق دقیق

در ساخت تجهیزات بسیار ریز احتیاج به بکارگیری تکنولوژیهای نوین و دستگاههای بسیار دقیق می باشد یکی از این دستگاهها UPM می باشد این ماشین ها دارای مکانیزم های حرکتی بسیار دقیق هستند کله گی و میز این ماشین ها روی بالشتک هوا شناور می باشد حرکت هوای فشرده در فضای کوچک و موازی میزهای هوایی باعث ایجاد دقت های بالا در حد نانو می شود یکی از عوامل کاهش دقت دراین گونه وسایل ارتعاشی می باشدهوای فشرده از جمله عوامل تولید ارتعاش می باشد که از طریق ایجاد جریانهای گردابی باعث ایجاد ریزلرزه می شود ابتدا نیروهای وارد بر لغزنده از ناحیه سیال توسط حل عددی و نرم افزار MATLAB بدست می آید.

Keywords:

ماشینهای فوق دقیق , میز هوایی , شبیه سازی , ازمایشات , استاتیک , هارمونیک , مودال